講座題目：“中國芯“制造面臨挑戰(zhàn)和機會

主講人：吳漢明院士

時間：2020年12月14日15:30

地點：信息科學實驗樓202報告廳

主辦單位：信息與電子學院 ?？茀f(xié)

主講人簡介：

吳漢明,，中國工程院院士,，浙江大學微納電子學院院長,。芯創(chuàng)智（北京）微電子有限公司董事長,。

吳漢明院士，1976年畢業(yè)于中國科學技術大學,；1987年畢業(yè)于中國科學院力學研究所,，獲博士學位。曾在美國UC-Berkeley進行博士后研究,，并先后入職Intel,、中芯國際等公司作為技術骨干從事集成電路制造工藝研發(fā)，曾任中芯國際研發(fā)副總裁,。

吳漢明院士長期工作在我國集成電路產業(yè)鏈重要環(huán)節(jié),，并作出突出貢獻。主持,、指導了包括國家重大專項的0.13微米至14納米七代芯片工藝研發(fā),，負責攻克了包括刻蝕等一系列關鍵工藝難點，工藝集成后實現(xiàn)產業(yè)化,。突破了長期以來我國高端芯片工藝完全依賴進口的制約,，與世界水平差距明顯縮小。負責我國首臺刻蝕機研發(fā)項目的理論工作,，并成功產業(yè)化,。建立的非平衡低溫等離子體混合模型/整體模型成為工藝理論依據(jù)，并作為教案被世界著名大學公開發(fā)行的教科書采用,。發(fā)表著作論文116篇,。授權發(fā)明專利67項。曾獲得“北京學者”,、“十佳全國優(yōu)秀科技工作者” 和“全國杰出專業(yè)技術人才”等榮譽,。作為主要成員，三次獲國家科技二等獎,，多次獲省部科技獎,。