講座題目：傳感器生產(chǎn)的薄膜工藝和設備制造 Thin Film Process and Equipment for MEMS Manufacturing

報 告 人：唐云俊

時 　 間：2019年10月30日(周三)9:00-11:00

地 　 點：中關(guān)村校區(qū)5號教學樓502-1

主辦單位：研究生院,、材料學院

報名方式：登錄北京理工大學微信企業(yè)號---第二課堂---課程報名中選擇“【百家大講堂】第262期：傳感器生產(chǎn)的薄膜工藝和設備制造”

【主講人簡介】

  美國AVP科技公司總技術(shù)官,，中科院物理所固體物理博士,，為薄膜材料、半導體工藝和設備專家,。曾為中科院物理所付研究員,，UCSD研究科學家。也曾就職于西部數(shù)據(jù)公司,，任高級研發(fā)工程師,，負責寫磁頭薄膜沉積、刻蝕,，以及器件的工藝合成,。研發(fā)新材料、新工藝,，并制定工藝制度,，發(fā)現(xiàn)并解決器件工藝制備過程中各種問題。精通微納器件制造各種工藝流程,、設備特性,、研發(fā)和制造技術(shù)。在國際期刊發(fā)表50多篇學術(shù)論文,，并有十多個中,、美專利。曾為美國《Physical Review B》,，《J. Appl. Phys.》及英國Institute of Physics 期刊雜志審稿人,。
  唐博士具有長期的企業(yè)技術(shù)、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃實施和企業(yè)運營的豐富經(jīng)驗,。長期以來,，負責各種~8英寸工業(yè)生產(chǎn)鍍膜機（PVD）、離子刻蝕機（IBE）,、反應刻蝕機（RIE）,、離子鍍膜機（IBD），以及in-line光伏電池制備鍍膜設備的技術(shù)研發(fā),、生產(chǎn),、銷售;同時負責各種薄膜材料工藝研發(fā)，包括,，低損耗光學薄膜,，光伏薄膜、超硬薄膜,，極耐磨薄膜,，耐高溫、高反射合金薄膜,，防靜電薄膜等等,，并研究其機械,、光、電,、磁等物理性能,，及工業(yè)生產(chǎn)的安全性、可靠性,、持續(xù)性,、高產(chǎn)能、低消耗等生產(chǎn)要求,，使之應用于工業(yè)生產(chǎn),。負責企業(yè)日常運營、管理,。堅持為客戶服務的理念,，與客戶緊密合作，了解客戶生產(chǎn)狀況,，及時幫助客戶分析,、解決生產(chǎn)中的各種問題；了解客戶新產(chǎn)品,、新技術(shù)開發(fā)前景,，及時制定研發(fā)、生產(chǎn),、銷售戰(zhàn)略,，達到企業(yè)持續(xù)增長。

【講座信息】

  介紹MEMS生產(chǎn)過程中薄膜沉積和刻蝕的基本工藝,，及相關(guān)PVD,、IBE等設備設計生產(chǎn)的基本要求。圍繞薄膜沉積,、刻蝕的基本要求,，如工藝特點、薄膜粘著性,、均勻度,、結(jié)構(gòu)、性能,、顆粒,、溫度、產(chǎn)能等,，介紹半導體設備設計的一些思路和案例,。