講座題目：傳感器生產(chǎn)的薄膜工藝和設備制造 Thin Film Process and Equipment for MEMS Manufacturing

報 告 人：唐云俊

時 　 間：2019年10月30日(周三)9:00-11:00

地 　 點：中關村校區(qū)5號教學樓502-1

主辦單位：研究生院,、材料學院

報名方式：登錄北京理工大學微信企業(yè)號---第二課堂---課程報名中選擇“【百家大講堂】第262期：傳感器生產(chǎn)的薄膜工藝和設備制造”

【主講人簡介】

  美國AVP科技公司總技術官，中科院物理所固體物理博士,，為薄膜材料、半導體工藝和設備專家,。曾為中科院物理所付研究員，UCSD研究科學家,。也曾就職于西部數(shù)據(jù)公司,，任高級研發(fā)工程師，負責寫磁頭薄膜沉積,、刻蝕,，以及器件的工藝合成。研發(fā)新材料,、新工藝,，并制定工藝制度，發(fā)現(xiàn)并解決器件工藝制備過程中各種問題,。精通微納器件制造各種工藝流程,、設備特性、研發(fā)和制造技術,。在國際期刊發(fā)表50多篇學術論文,，并有十多個中、美專利,。曾為美國《Physical Review B》,，《J. Appl. Phys.》及英國Institute of Physics 期刊雜志審稿人。
  唐博士具有長期的企業(yè)技術,、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃實施和企業(yè)運營的豐富經(jīng)驗,。長期以來，負責各種~8英寸工業(yè)生產(chǎn)鍍膜機（PVD）,、離子刻蝕機（IBE）、反應刻蝕機（RIE）,、離子鍍膜機（IBD）,，以及in-line光伏電池制備鍍膜設備的技術研發(fā)、生產(chǎn),、銷售;同時負責各種薄膜材料工藝研發(fā),，包括，低損耗光學薄膜,，光伏薄膜,、超硬薄膜，極耐磨薄膜,，耐高溫,、高反射合金薄膜,，防靜電薄膜等等，并研究其機械,、光,、電、磁等物理性能,，及工業(yè)生產(chǎn)的安全性,、可靠性、持續(xù)性,、高產(chǎn)能,、低消耗等生產(chǎn)要求，使之應用于工業(yè)生產(chǎn),。負責企業(yè)日常運營,、管理。堅持為客戶服務的理念,，與客戶緊密合作,，了解客戶生產(chǎn)狀況，及時幫助客戶分析,、解決生產(chǎn)中的各種問題,；了解客戶新產(chǎn)品、新技術開發(fā)前景,，及時制定研發(fā),、生產(chǎn)、銷售戰(zhàn)略,，達到企業(yè)持續(xù)增長,。

【講座信息】

  介紹MEMS生產(chǎn)過程中薄膜沉積和刻蝕的基本工藝，及相關PVD,、IBE等設備設計生產(chǎn)的基本要求,。圍繞薄膜沉積、刻蝕的基本要求,，如工藝特點,、薄膜粘著性、均勻度,、結(jié)構(gòu),、性能、顆粒,、溫度,、產(chǎn)能等，介紹半導體設備設計的一些思路和案例,。