北理工課題組在兩層碳原子賦能超靈敏加速度探測方面取得重要進(jìn)展
發(fā)布日期：2025-04-10 供稿：前沿交叉科學(xué)院 攝影：前沿交叉科學(xué)院
編輯：楊婧 審核：鄭德智 閱讀次數(shù)：
近日,，北京理工大學(xué)前沿交叉研究院范緒閣教授課題組與中北大學(xué)極限環(huán)境光電動態(tài)測試技術(shù)與儀器全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室張文棟教授合作,，在兩層碳原子賦能超靈敏加速度探測方面取得了重要進(jìn)展,。相關(guān)研究成果以“Two Layers of Carbon Atoms Enable Ultrasensitive Detection of Acceleration”為題發(fā)表在國際知名期刊《ACS Nano》（中科院與JCR雙一區(qū)，IF：15.8）,，論文第一作者為北京理工大學(xué)丁潔副教授,。通訊作者為北京理工大學(xué)范緒閣教授。
研究課題組以兩個碳原子層懸浮SiO2/Si質(zhì)量塊作為高靈敏加速度探測敏感結(jié)構(gòu),，兩層碳原子所懸浮的SiO2/Si質(zhì)量塊的重量是兩層碳原子自身重量的3萬倍,，所懸浮的SiO2/Si質(zhì)量塊的尺寸最小至10 μm × 10 μm × 16.4 μm。所研制的加速度傳感器原型器件的質(zhì)量塊體積標(biāo)準(zhǔn)化后的靈敏度比傳統(tǒng)硅基加速度傳感器至少高3個數(shù)量級,，質(zhì)量塊的體積比傳統(tǒng)硅基加速度傳感器至少低3個數(shù)量級,。實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了兩層碳原子所構(gòu)成的懸浮石墨烯薄膜存在因諧振導(dǎo)致的顯著增強(qiáng)的電機(jī)械耦合壓阻傳感效應(yīng)，最終導(dǎo)致器件的高靈敏加速度探測,。此外,，課題組通過建模仿真,，對器件進(jìn)行了進(jìn)一步的理論分析與研究。
圖1 兩層原子懸浮SiO2/Si質(zhì)量塊加速度敏感結(jié)構(gòu)示意圖,、制備工藝流程圖及SEM圖,、封裝鍵合及傳感機(jī)制示意圖
圖2 制備的石墨烯加速度傳感器的性能測試與比較
圖3 所制備的器件性能比較及封裝后的器件電學(xué)掃頻實(shí)驗(yàn)
圖4 未封裝的石墨烯加速度敏感芯片的動態(tài)機(jī)械表征及建模仿真
論文詳情：Jie Ding, Hongliang Ma, Chang He, Wendong Zhang, and Xuge Fan*, Two Layers of Carbon Atoms Enable Ultra-sensitive Detection of Acceleration, ACS Nano 2025, 19, 12253?12261.
DOI: https://doi.org/10.1021/acsnano.5c00651
論文鏈接：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.5c00651
本研究受到國家自然科學(xué)基金（62171037 與62088101）、北京市自然科學(xué)基金 (4232076),、國家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金（海外）,、北京理工大學(xué)特立青年學(xué)者人才支持計(jì)劃啟動項(xiàng)目的資助。
附主要作者簡介：
丁潔,，第一作者,，北京理工大學(xué)集成電路與電子學(xué)院副教授，博士畢業(yè)于英國格拉斯哥大學(xué),，導(dǎo)師為半導(dǎo)體器件建模與仿真領(lǐng)域國際著名學(xué)者Asen Asenov院士,。研究方向?yàn)閭鞲衅鹘７抡妗C(jī)理與器件,，新型半導(dǎo)體器件建模與仿真,，CMOS器件、閃存器件的隨機(jī)漲落與可靠性研究,，設(shè)計(jì)與工藝協(xié)同優(yōu)化方法（DTCO）,。
馬鴻梁，北京理工大學(xué)前沿交叉科學(xué)研究院在讀博士研究生,。
何昶,，北京理工大學(xué)前沿交叉科學(xué)研究院在讀博士研究生。
張文棟,，中北大學(xué)極限環(huán)境光電動態(tài)測試技術(shù)與儀器全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室教授,、山西省人大教科文衛(wèi)工委副主任。曾任中北大學(xué)校長,、太原理工大學(xué)校長,、山西省教育廳廳長、山西省政府副秘書長等,。長期從事動態(tài)測試和微米納米技術(shù)研究,，先后主持完成國家重大科研項(xiàng)目40余項(xiàng)，已發(fā)表學(xué)術(shù)論文近400篇,，出版專著8部,，授權(quán)國家發(fā)明專利76項(xiàng)。獲得國家科學(xué)技術(shù)發(fā)明二等獎3項(xiàng)（排名第一2項(xiàng),，第二1項(xiàng)）,、三等獎1項(xiàng)、國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎1項(xiàng),、何梁何利基金“科學(xué)技術(shù)創(chuàng)新獎”,、省部級科技進(jìn)步獎一,、二等獎9項(xiàng)、國家教學(xué)成果二等獎1項(xiàng),。先后被授予“全國先進(jìn)工作者”稱號,、“國家有突出貢獻(xiàn)的中青年專家”稱號、“全國五一勞動獎”章,、“第5屆中國青年科技獎”章等獎勵,。研究成果已在國家重大和重點(diǎn)工程得到廣泛應(yīng)用。
范緒閣,，通訊作者,，北京理工大學(xué)前沿交叉研究院教授，北京理工大學(xué)特立青年學(xué)者,。主要從事微納機(jī)電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）,、微納傳感器、微納加工,、石墨烯等敏感薄膜方向的研究,。近年來,，以一作或通訊在Nature Electronics,、Science Advances、Nano Letters,、Microsystems & Nanoengineering,、Chemical Engineering Journal、Small,、Carbon,、ACS AMI等國際重要期刊與會議發(fā)表近40篇論文，申請及授權(quán)中國發(fā)明專利15項(xiàng),，獲MINE2024優(yōu)秀青年科學(xué)家獎,。科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃指南編制專家組成員及項(xiàng)目評審人,，國家自然科學(xué)基金委,、工業(yè)和信息化部、科技部,、中國博士后管理委員會,、國家留學(xué)基金委等部門的項(xiàng)目評審人。研究方向?yàn)槲⒓{機(jī)電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）,、微納傳感器,、微納加工、石墨烯等敏感薄膜,。
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