【科技日?qǐng)?bào)】二次資源利用讓難熔金屬“熔爐中重生”
發(fā)布日期：2019-03-27 供稿：科技日?qǐng)?bào) 編輯：吳楠 審核：王征 閱讀次數(shù)：
原文標(biāo)題：二次資源利用讓難熔金屬“熔爐中重生”
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鎢、鉭,、鈮,、錸和鉬……難熔金屬在原子能、航空航天,、電子信息和醫(yī)學(xué)診療等涉及國(guó)家安全和國(guó)計(jì)民生的高科技領(lǐng)域具有極為重要的用途,。但是，近10年來(lái),，世界鎢工業(yè)所消耗的大部分鎢資源來(lái)自中國(guó),，造成我國(guó)這類優(yōu)質(zhì)戰(zhàn)略資源的儲(chǔ)藏量大幅下降。
26日,，記者從北京理工大學(xué)獲悉,，十年磨一劍，由北京理工大學(xué),、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所,、中國(guó)原子能科學(xué)研究院和昆明理工大學(xué)組成的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，在基于二次資源利用的高端難熔金屬產(chǎn)品研發(fā)及應(yīng)用取得重大突破,。
“通過(guò)應(yīng)用基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化,，項(xiàng)目組打通了從回收廢料，到電子級(jí)WF6氣體,、超高純度鎢零部件等產(chǎn)品的全鏈條產(chǎn)業(yè)化技術(shù),，突破了WF6高效氟化制取及純化，高純度鎢靶材、鎢加熱體,、異型鎢坩堝的常壓化學(xué)氣相沉積制造,，基于尾氣利用的高純度超細(xì)鎢粉等離子化學(xué)法制備，副產(chǎn)物HF的F2/NF3和H2電解制取及其在WF6的制取和還原中的應(yīng)用等關(guān)鍵技術(shù),?！痹擁?xiàng)目組負(fù)責(zé)人北京理工大學(xué)教授譚成文說(shuō)。
歷經(jīng)約10年努力,，項(xiàng)目組研發(fā)出高純WF6,、超高純鎢靶材、離子注入機(jī)用高純鎢部件,、高性能鎢加熱體,、高純異型鎢坩堝等系列高端產(chǎn)品。
譚成文說(shuō),，其中,，高純WF6純度達(dá)99.999%，滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于特種氣體的高純度要求,，在英特爾,、東芝、臺(tái)積電,、中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用,，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率80%，國(guó)際市場(chǎng)占有率近25%,，僅3年時(shí)間即實(shí)現(xiàn)單一產(chǎn)品年產(chǎn)值過(guò)億元,，利潤(rùn)率大于20%。隨著技術(shù)不斷改進(jìn),，產(chǎn)品在相關(guān)企業(yè)的用量大幅提高,，打破國(guó)外壟斷。超高純鎢靶材,、離子注入機(jī)用高純鎢部件,、鎢加熱體、異型鎢坩堝純度達(dá)99.999999%,。
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